03.02.26

Министерство промышленности и торговли Российской Федерации утвердило национальный стандарт «ГОСТ Р 72477-2025. Оборудование специальное технологическое, применяемое в микроэлектронном производстве. Общие технические условия». Документ вступает в силу с 1 июля 2026 года.

Новый стандарт устанавливает требования к оборудованию, используемому в процессе производства полупроводников, интегральных схем и других компонентов современной электроники. Это касается как конструктивных характеристик машин и аппаратов, так и условий эксплуатации, обслуживания и ремонта.

Стандарт предусматривает:

• общие требования к конструкции специального технологического оборудования;
• правила приемки продукции, испытания и оценки качества изделий;
• методы контроля технического состояния аппаратуры;
• рекомендации по безопасной эксплуатации, техническому обслуживанию и ремонту техники.

Принятие нового документа позволит унифицировать подходы к разработке и производству специализированного оборудования, повысить качество производимых устройств и снизить риск отказов на всех этапах производственного процесса.

Кроме того, новые стандарты направлены на обеспечение соответствия отечественного оборудования международным требованиям и стандартам, что особенно важно в условиях растущего спроса на продукцию отечественной электронной отрасли.

Принятие национального стандарта является важным этапом развития российского высокотехнологичного сектора и создает основу для дальнейшего повышения конкурентоспособности отечественных производителей электронных компонентов на мировом рынке.

Сертификация специального технологического оборудования для микроэлектронного производства согласно ГОСТ Р 72477-2025

Микроэлектронное производство предъявляет высокие требования к качеству и надежности применяемых технологических решений. Именно поэтому особое внимание уделяется сертификации специального оборудования, предназначенного для изготовления полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и других элементов современного электронного устройства. Одним из ключевых документов, регулирующих сертификацию подобного оборудования, стал недавно принятый ГОСТ Р 72477-2025, вступающий в силу с 1 июля 2026 года.

Специальное технологическое оборудование для микроэлектронного производства представляет собой широкий спектр установок и агрегатов, предназначенных для осуществления различных этапов производственного цикла, включая фотолитографию, травление, диффузионные процессы, ионную имплантацию, напыление материалов и сборочные операции. К таким установкам относятся вакуумные камеры, диффузионные печи, установки литографии, средства автоматизации процессов и контрольные системы.

Основное требование заключается в обеспечении стабильного качества выпускаемых изделий и соблюдении строгих норм точности и чистоты обработки поверхности полупроводниковых пластин и кристаллов. Любые отклонения от заданных технических параметров приводят к снижению выхода годных изделий, ухудшению эксплуатационных характеристик и увеличению затрат на ремонт и замену оборудования.

Сертификация осуществляется аккредитованными органами по следующим этапам:

1. Оценка технической документации. Первоначально проводится экспертиза проектной и технической документации предприятия-изготовителя. Она включает проверку комплектности документации, правильность оформления чертежей, спецификаций и расчетов, соответствие заявленных технических характеристик изделия установленным нормам.
2. Анализ образцов продукции. Производится выборочная проверка опытных образцов оборудования путем испытаний в лабораторных условиях либо непосредственно на производственных площадках заказчика. Проверяются заявленные показатели производительности, точности, стабильности рабочих режимов, экологичности и энергоэффективности оборудования.
3. Испытания на совместимость и надежность. Проведение специальных тестов позволяет удостовериться в совместимости отдельных модулей оборудования друг с другом и оценить устойчивость к внешним воздействиям, вибрациям, электромагнитному излучению и другим неблагоприятным факторам производственной среды.
4. Оформление сертификата соответствия. При успешном прохождении проверки выдается сертификат соответствия установленного образца, подтверждающий соответствие продукции установленным техническим условиям и требованиям стандартов. Данный документ служит основанием для допуска оборудования к применению в серийном производстве изделий микроэлектроники.

Применение сертифицированных технологий и оборудования способствует повышению эффективности и экономичности производства, сокращению брака и отходов, улучшению экологической обстановки на предприятии благодаря уменьшению количества вредных выбросов и снижению энергопотребления. Кроме того, наличие сертификатов соответствия повышает доверие потребителей и партнеров, способствуя развитию экспортных поставок продукции отечественного машиностроительного комплекса.

Внедрение новых требований и проведение обязательной сертификации способствуют обеспечению высокого уровня безопасности и надежности оборудования для микроэлектронного производства, обеспечивая конкурентоспособность российских предприятий на международном уровне.

---

• Новые технические условия на кожу для подкладки обуви
• Материалы электроизоляционные. Новый ГОСТ
• Энергоэффективность гарантирована: стандарты ужесточили правила изготовления утеплителя