ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
- Все ГОСТы
- 23. ГИДРАВЛИЧЕСКИЕ И ПНЕВМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И КОМПОНЕНТЫ ОБЩЕГО НАЗНАЧЕНИЯ
- 23.160. Вакуумная технология
| Статус: | Действует |
| Дата введения: | 07.01.1983 |
| Дата отмены: | - |
| Заменен на: | - |
| Код ОКС: | 23.160 |
| Скачать (PDF): | ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования |